掃描電鏡等離子清洗機

Name: 掃描電鏡等離子清洗機CIF-SEM
Brand: CIF
Availability: InStock

簡要描述：CIF掃描電鏡（SEM）等離子清洗機采用遠程等離子清洗源，在實現高效、快速清洗的同時，能顯著降低對樣品的轟擊損傷。本設備主要用于清除SEM、FIB等儀器腔體及樣品表面的碳氫化合物污染，兼容國內外主流電鏡品牌，保障設備性能與成像質量。

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詳細介紹

品牌	CIF	產地類別	國產
應用領域	醫療衛生,環保,生物產業,地礦,能源

CIF掃描電鏡等離子清洗機

CIF掃描電鏡（SEM）等離子清洗機采用遠程等離子清洗源，在實現高效、快速清洗的同時，能顯著降低對樣品的轟擊損傷。本設備主要用于清除SEM、FIB等儀器腔體及樣品表面的碳氫化合物污染，兼容國內外主流電鏡品牌，保障設備性能與成像質量。
產品特點

u 遠程等離子清洗源：從物理空間上隔離等離子體與樣品，有效減少直接轟擊。

u 高效快速清洗：顯著縮短前處理時間，快速清除碳氫化合物等污染物。

u 極低樣品損傷：優化后的工藝能最大限度保護樣品原始結構與表面形貌。
技術參數

型號	CIF-SEM
等離子電源	13.56MHz射頻電源，功率5-150W連續可調，配備遠程等離子源與自動阻抗匹配器
工作氣壓	0.3 - 3 Pa（典型工藝范圍）
法蘭接口	KF40（兼容CF40）
氣路控制	標配雙路質量流量計（MFC，量程0-500 sccm），流量自動穩定，不受環境溫壓波動影響
工藝氣源	支持氧氣、氬氣、氮氣、氫氣等多種高純氣體，滿足不同清洗工藝需求
真空互鎖	采用真空計與電磁閥安全互鎖機制，保障系統運行安全
可選氣源擴展	可外接高純氧氣、氮氣、氫氣發生器（氫氣純度＞99.999%，流量0-500 sccm）
人機界面	7英寸全彩觸摸屏，配備中英文雙語交互界面
整機尺寸	385mm (長) × 400 mm (寬) × 495 mm (高)
包裝尺寸	535 mm (長) × 520 mm (寬) × 735 mm (高)
電源輸入	AC 220V，50/60Hz，額定功率320W。
整機重量	27 kg。
質量承諾	二年質保，終身維護

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