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產品分類
CIF材料表面處理儀器
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CIF等離子增強器是專為CVD管式爐研發的升級改造模塊,通過加裝等離子體發生裝置,可將傳統熱CVD設備直接升級為PECVD(等離子體增強化學氣相沉積)系統,大幅降低用戶采購全新PECVD設備的投入成本,適配科研、半導體、新能源等多領域薄膜制備需求。
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